喷金仪 喷碳仪
仪器名称：自动离子溅射仪
仪器型号：108AUTO
仪器产家：美国泰德派勒
主要应用：108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
性能指标：
1. 样品室大小：直径120 mm×120 mm高（4.75×4.75”）
2. 靶材：Pt&C，大小为直径57mm×0.1mm厚
3. 样品台：可装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm.
4. 溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制
5. 溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩。
6. 模拟数量：真空：Atm﹣0.001 Mbar。
7. 控制方法：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有暂停控制的数字定时器（0~300s），自动放气。
8. 桌上系统：真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
样品要求：
不导电的干燥样品，无磁性。
仪器说明：
美TED PELLA 108AUTO 自动离子溅射仪，是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
仪器名称：小型离子溅射仪
仪器型号：JS-1600
仪器产家：北京和同创业/中国
主要应用：主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜)，仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
性能指标：
1. 电源：110/220 V，50 Hz
2. 靶（上部电极）：金，银等。直径为50 mm，厚度大约为0.12 mm
3. 真空室：直径160 mm，高120 mm
4. 样品台（下部电极）：圆形，直径为50 mm
5. 离子电流表：最大电流50 mA
6. 定时器：最长时间900 s、最高电压1600 V；机械泵2 L/s
7. 外形尺寸：不大于360×300×380 mm。
样品要求：
绝缘体材料。
仪器说明：
离子溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的，适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。