低温真空探针台系统

仪器名称：低温真空探针台系统

仪器型号：ST-500-1-(4TX)

仪器产家：美国Janis Research

主要应用：可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析。

性能指标：

1. 分子泵组：超低振动，转速1500 Hz。真空度：2×10^-6 mTorr。

2. 探针台：四探针测量，真空低温测量。温度范围：4.2~365 K。

3. 数字源表：两个SUM单元集成。测量精度：10~12 A，施加电压<60 V，最小脉冲20 μs。

4. 温度控制装置+液氮罐：控制精度1/1000 K。

样品要求：

晶片、薄膜。

注意事项：

1. 此探针台属于高低温范围类型，在升温至室温以上时，一定要保持真空泵抽探针台真空腔，并且时刻注意温控仪CH B的温度，不要超过425 K，否则容易造成探针台内部损坏。

2. 扎针时注意不要把针扎弯。

3. 换针时，用专门的内六角扳手拧下，从新探针钝的一端插入探针臂上小孔。

4. 探针台上的各个平移台都有一定的行程，使用过程中不要强力扳拧。

5. 探针台的光源在能看清样品的同时尽量调至最暗，灯光越亮，灯源越容易损坏。

6. 关闭真空泵时，一定要将探针台上的真空阀关闭，并等待分子泵转速降至0后关闭电源。

7. 实验过程中，尽量避免去触碰探针台及光学平移桌。

仪器说明：

1. 探针台操作步骤：将样品放入台盘上；打开显微镜光源灯和背光面板光源开关；调整Z轴高度、目镜和放大倍率，使影像清晰。

2. 点针操作步骤：移动镜头组找到要下针处；调整针座位置，将三轴归零；调整针座仰角机构，使针尖位于显微镜射出光斑中央上方1~2 mm处；利用低倍镜头找到针尖，将针尖移至视野中央位置并通过调整焦距使针尖达到清晰；切换至高倍镜头，找到针尖；利用针座的X-Y-Z轴微调下针;测量测完毕后，逆时针旋转针座的仰角机构的旋钮快速将针往上抬起,针尖即可移开样品；移动针座平台或者显微镜相关移动机构时，请注意小心避免与镜头或被测品碰撞；移开针座，取出样品；关闭背光面板光源和光源灯等电源。

3. 气垫保护：由于低温探针台的定子作为基础的平台上面必须要有一层气垫来作为保护，然后动子放在气垫上面。

4. 仪器存放和清理维护：平台要保证在干燥的环境中使用，进行防锈处理并在相应位置涂覆天然石油保护层。平台应定期进行清洁维护，除去表面的灰尘。