快速退火炉

仪器名称：快速退火炉

仪器型号：RTP-500V

仪器产家：北京东之星应用物理研究所

主要应用：合金样品、薄膜样品的高温快速退火。

性能指标：

1.    温度范围：150~1300 °C；

2.    升温速率：2~200 °C/s可调；

3.    密封石英盒内尺寸：215×130×20 mm；

4.    工作温度：在1000 °C保持时间>1 h；在1300 °C保持时间>15 s，稳定性±1 °C；在1200 °C保持时间>60 s，稳定性±1 °C。

样品要求：

粉末、薄膜、合金或者陶瓷样品。尺寸小于4 inch，高度小于1 cm。

注意事项：

1.    炉子使用或长时间不用后，要在120 ℃左右烘烤1 h，在300 ℃左右烘烤2 h后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

2.    冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

3.    炉子使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

4.    炉子在工作过程中，一般在300 ℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“M5、P、t”设置是否准确。

仪器说明：

RTP-500V型号的快速退火炉可以外接真空泵以及气瓶，实现在不同气氛条件进行退火